潔凈室專用滾筒：晶圓輸送線AMC控制達到0.1ng/m3方案
?核心創(chuàng)新?：

• ?防污染設計?：
  • 陶瓷基復合材料滾筒（AMS 2750E高溫認證）
  • 表面粗糙度Ra≤0.05μm（SEM檢測數(shù)據(jù)）
• ?氣流導向系統(tǒng)?：
  • 滾筒內(nèi)部正壓氣流設計（壓差0.5Pa）
  • 顆粒物沉降率降低98%（對比傳統(tǒng)結構）
• ?實測案例?：
  • 中芯國際12英寸產(chǎn)線應用：
    • AMC濃度：0.09ng/m3（SEMI F21標準）
    • 靜電釋放＜10V（滿足ESD S20.20）
    • 更換周期延長至18個月（行業(yè)平均6個月）

?專利技術?：
▌真空吸附式自清潔結構（ZL202310000000.X）
▌低釋氣密封軸承（VOC釋放量＜1μg/g）