潔凈室專用滾筒：晶圓輸送線AMC控制達到0.1ng/m3方案
?核心創新?：
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?防污染設計?：
- 陶瓷基復合材料滾筒（AMS 2750E高溫認證）
- 表面粗糙度Ra≤0.05μm（SEM檢測數據）
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?氣流導向系統?：
- 滾筒內部正壓氣流設計（壓差0.5Pa）
- 顆粒物沉降率降低98%（對比傳統結構）
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?實測案例?：
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中芯國際12英寸產線應用：
- AMC濃度：0.09ng/m3（SEMI F21標準）
- 靜電釋放＜10V（滿足ESD S20.20）
- 更換周期延長至18個月（行業平均6個月）
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中芯國際12英寸產線應用：
?專利技術?：
▌真空吸附式自清潔結構（ZL202310000000.X）
▌低釋氣密封軸承（VOC釋放量＜1μg/g）
